半导体厂酸碱废气处理计划及设备

  半导体厂在出产的悉数过程中，因为清洗、蚀刻、抗剥离等工艺的运用，会发生很多的酸碱废气。这些废气中含有氟化物、氨等有害化学气体，如六氟化硫（SF6）、氟化氢（HF）等。这些气体不仅对环境能够形成污染，还对人体健康构成威胁。因而，对半导体厂酸碱废气进行相对有用处理显得很重要。

  针对半导体厂酸碱废气的处理，咱们提出了以下计划及设备装备，以保证废气的合格排放。

  半导体厂酸碱废气处理计划首要工艺道路为：搜集管路 → 集管 → 酸性/碱性化学洗刷塔 → 耐腐蚀风机 → 烟囱（合格排放）。该计划经过物理和化学办法相结合，有用去除废气中的酸性和碱性成分，保证排放契合环保要求。

  ：经过集气罩和管道体系，将半导体出产的悉数过程中发生的废气一致搜集至抛弃净化处理体系。

  ：废气经过集管会集后，依照各自的体系进入相应的化学洗刷塔进行喷淋处理。

  ：废气在洗刷塔内经过喷淋体系、循环水体系、填料过滤体系、除雾体系等进行化学吸收、除雾，保证处理后的废气合格排放。常用的吸收液为25% NaOH或NaClO溶液，体系选用pH值、液位值和电导值操控水箱中碱液的参加和补/排水的循环，完成全自动化操控。

  ：处理后的废气经过耐腐蚀风机输送至烟囱，保证风机在酸碱环境下的安稳运转。

  经过上述半导体厂酸碱废气处理计划及设备的施行，半导体厂能够有显着效果地地处理酸碱废气，削减对环境和人体健康的影响，一起契合国家和当地的环保法规要求。

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